একটি ওয়েফার খাঁজ দেখতে কেমন লাগে

খাঁজ দেখতে কেমন?

খাঁজের আকার অবশ্যই SEMI মানগুলির সাথে কঠোরভাবে মেনে চলতে হবে, যেমন উপরের চিত্রে দেখানো হয়েছে:

1. Vw খাঁজের মোট প্রস্থকে প্রতিনিধিত্ব করে এবং এর আকার সিলিকন ওয়েফারের ব্যাস এবং বেধের সাথে সম্পর্কিত।

2. Vh হল খাঁজের গভীরতা, যা সিলিকন ওয়েফারের প্রান্ত থেকে খাঁজের নীচের দিকে উল্লম্ব দূরত্ব নির্দেশ করে। এটি সাধারণত 1।{2}} থেকে 1.25 মিমি পর্যন্ত হয়ে থাকে। খাঁজের প্রান্তিককরণের নির্ভুলতা নিশ্চিত করার জন্য Vh অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

3. AngV, অর্থাৎ খাঁজ কোণ। AngV হল খাঁজের কোণ, যা উভয় পাশের খাঁজের প্রান্তের মধ্যে কোণ। এটি সাধারণত 89 ডিগ্রি এবং 95 ডিগ্রির মধ্যে থাকে। এই কোণটি খাঁজের জ্যামিতি এবং অবস্থানের ক্ষেত্রে একটি সিদ্ধান্তমূলক ভূমিকা পালন করে।

4. R1 এবং R2 খাঁজের উভয় পাশে কোণগুলির ব্যাসার্ধকে উপস্থাপন করে। এই দুটি রেডিই খাঁজের কোণগুলির মসৃণতা নির্ধারণ করে, খাঁজের চাপের ঘনত্বকে প্রভাবিত করে এবং সিলিকন ওয়েফারের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে প্রভাবিত করে।

5. Vr হল খাঁজের নীচে বক্রতার ব্যাসার্ধ, যা খাঁজের নীচে চাপের আকার নির্দেশ করে। Vr বক্ররেখার আকৃতি এবং খাঁজের মসৃণতা পরিবর্তন করতে পারে। একটি বৃহত্তর Vr খাঁজের নীচের অংশকে চাটুকার করতে পারে, যা চাপের ঘনত্ব কমাতে সাহায্য করে।

6. খাঁজ অভিযোজন: খাঁজের দিকটি ওয়েফারের নির্দিষ্ট স্ফটিক অভিযোজনের সমান্তরাল এবং ±2 ডিগ্রির বিচ্যুতি অনুমোদিত।