মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি

খাওয়ানো → গলানো → ঘাড়ের বৃদ্ধি → কাঁধের বৃদ্ধি → আইসোমেট্রিক বৃদ্ধি → লেজের বৃদ্ধি
(1) খাওয়ানো: কোয়ার্টজ ক্রুসিবলের মধ্যে পলিসিলিকন কাঁচামাল এবং অমেধ্য রাখুন। অমেধ্যের ধরন প্রতিরোধের N বা P ধরণের উপর নির্ভর করে। অমেধ্যের প্রকারগুলি হল বোরন, ফসফরাস, অ্যান্টিমনি এবং আর্সেনিক।
(2) গলে যাওয়া: কোয়ার্টজ ক্রুসিবলে পলিসিলিকন কাঁচামাল যোগ করার পরে, স্ফটিক বৃদ্ধির চুল্লিটি অবশ্যই বন্ধ করে খালি করতে হবে, তারপর একটি নির্দিষ্ট চাপের পরিসর বজায় রাখতে উচ্চ-বিশুদ্ধতা আর্গন দিয়ে পূর্ণ করতে হবে এবং তারপরে গ্রাফাইট হিটারের শক্তি চালু করতে হবে। গলে যাওয়া তাপমাত্রায় তাপ (1420 ডিগ্রি), পলিসিলিকন কাঁচামাল গলে যায়।
(3) ঘাড় বৃদ্ধি: যখন সিলিকন গলে তাপমাত্রা স্থিতিশীল হয়, ধীরে ধীরে সিলিকন গলে বীজ স্ফটিক নিমজ্জিত করুন। তাপীয় চাপের কারণে যখন বীজ স্ফটিক সিলিকন গলিত ক্ষেত্রের সংস্পর্শে থাকে, তখন বীজ স্ফটিকের মধ্যে স্থানচ্যুতি তৈরি হবে এবং এই স্থানচ্যুতিগুলি ঘাড়ের বৃদ্ধির মাধ্যমে দূর করতে হবে। নেকিং গ্রোথ হল বীজ স্ফটিককে দ্রুত উপরে তোলা, যাতে বেড়ে ওঠা বীজ স্ফটিকের ব্যাস একটি নির্দিষ্ট আকারে (4-6মিমি) কমে যায়। যেহেতু স্থানচ্যুতি রেখাটি বৃদ্ধির অক্ষের সাথে একটি কোণ তৈরি করে, যতক্ষণ পর্যন্ত ঘাড় যথেষ্ট দীর্ঘ হয়, স্থানচ্যুতিটি স্ফটিক পৃষ্ঠের বাইরে বৃদ্ধি পেতে পারে, শূন্য স্থানচ্যুতি সহ একটি স্ফটিক তৈরি করে।
(4) কাঁধের বৃদ্ধি: পাতলা ঘাড় বড় হওয়ার পরে, তাপমাত্রা এবং টানার গতি কমাতে হবে যাতে স্ফটিকটির ব্যাস ধীরে ধীরে প্রয়োজনীয় আকারে বৃদ্ধি পায়।
(5) সমান-ব্যাসের বৃদ্ধি: পাতলা ঘাড় এবং কাঁধ বড় হওয়ার পরে, টানার গতি এবং তাপমাত্রা ক্রমাগত সামঞ্জস্য করে ইনগটের ব্যাস প্লাস বা বিয়োগ 2 মিমি এর মধ্যে বজায় রাখা যেতে পারে। নির্দিষ্ট ব্যাস বিশিষ্ট অংশকে আইসোডিয়ামিটার অংশ বলে। মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারগুলি সমান ব্যাসের বিভাগ থেকে নেওয়া হয়।
(6) লেজের বৃদ্ধি: সমান-ব্যাসের অংশটি বড় হওয়ার পরে, যদি অবিলম্বে তরল পৃষ্ঠ থেকে ইংগটটি আলাদা করা হয়, তাপীয় চাপের কারণে ইনগটে স্থানচ্যুতি এবং স্লিপ লাইন তৈরি হবে। অতএব, এই সমস্যাটি এড়ানোর জন্য, ইনগটের ব্যাসটি ধীরে ধীরে হ্রাস করতে হবে যতক্ষণ না এটি একটি তীক্ষ্ণ বিন্দুতে পরিণত হয় এবং তরল পৃষ্ঠ থেকে পৃথক হয়। এই প্রক্রিয়াটিকে লেজ বৃদ্ধি বলা হয়। বড় হওয়া ক্রিস্টাল ইংগটকে কিছু সময়ের জন্য ঠাণ্ডা করার জন্য উপরের ফার্নেস চেম্বারে তোলা হয় এবং তারপর একটি বৃদ্ধি চক্র সম্পূর্ণ করার জন্য বাইরে নিয়ে যাওয়া হয়।